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切记!爱德华真空泵维修时必须遵循专业规范

点击次数:18 更新时间:2025-12-09
   爱德华真空泵广泛应用于半导体制造、科研实验、医疗设备及镀膜工艺等对真空度、洁净度和稳定性要求高的领域。其产品涵盖旋片泵、干式螺杆泵、涡轮分子泵等类型,结构精密、材料特殊。一旦出现故障,若维修操作不当,不仅难以恢复性能,还可能造成二次损坏或安全隐患。因此,taptap安装软件 时必须遵循专业规范,做到安全、原厂、细节。

 


  一、爱德华真空泵维修前准备
  断电与泄压:务必切断主电源,并通过排气阀释放泵腔内残余真空与压力,防止意外启动或油液喷溅;
  冷却等待:运行后的泵体温度可达80℃以上,需静置至室温再拆卸,避免烫伤或热变形;
  查阅手册:严格参照维修指南(如iGLX、nXDS系列手册),确认拆装顺序与专用工具要求。
  二、核心注意事项
  严禁非授权拆解
  爱德华真空泵多采用模块化密封设计,内部轴承、转子间隙精度达微米级。非专业人员强行拆卸易导致动平衡破坏、密封失效。建议仅由经认证的技术人员操作,或返厂维修。
  使用原厂备件
  油封、O型圈、叶片、润滑油等必须选用原厂配件。劣质替代品可能导致:
  油品不兼容引发碳化堵塞;
  密封件耐温/耐化学性不足,造成泄漏;
  轴承公差不符,加剧振动与磨损。
  润滑油更换规范
  排油时趁热进行,确保旧油及污染物排出;
  使用固定型号真空油(如Edwards ULTRAGRADE 15/19);
  加注量严格按刻度线,过多导致过热,过少引起润滑不足。
  防污染与洁净操作
  维修环境应保持无尘,所有工具、零件用无绒布覆盖。尤其在半导体或医疗应用中,微粒污染会直接导致工艺失败。装配前用高纯氮气吹扫腔体。
  电气与安全联锁检查
  干泵常集成温度、振动、压力传感器。维修后需测试:
  过热保护是否触发;
  反向旋转报警功能;
  急停按钮响应速度。
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